ด้านล่างมีปัจจัยที่ส่งผลต่อความหนาของแผ่นโลหะและโอกไซด์โดยการตรวจสอบขนาดเล็กของส่วนตัดโดยใช้กล้องจุลทรรศน์

ภายใต้สภาพที่ดี เมื่อใช้กล้องจุลทรรศน์แสง สามารถให้ความแม่นยําการวัดที่สมบูรณ์แบบ 0.8 μmนี้จะกําหนดความเหมาะสมของวิธีการในการวัดความหนาของเคลือบบาง.

1 ความหยาบคายของพื้นผิว ถ้าผิวเคลือบหรือพื้นฐานของมันมีพื้นผิวหยาบคาย ผิวหน้าหนึ่งหรือทั้งสองที่จํากัดส่วนตัดข้ามเคลือบอาจไม่เรียบร้อยเกินไปที่จะทําให้การวัดแม่นยํา

2 หนาของส่วนตัดข้าม ถ้าระนาบของส่วนตัดข้ามไม่ได้ตั้งค่ากับระนาบของเคลือบ, ความหนาที่วัดจะใหญ่กว่าความหนาจริง. ตัวอย่างเช่น,ความชันของ 10 องศาที่ตั้งตรงจะส่งเสริม 1ความผิดพลาด 0.5%

3 การปรับปรุงความผิดปกติของผิวเคลือบ ภาพปรับปรุงความผิดปกติของผิวเคลือบอาจเกิดจากอุณหภูมิหรือแรงกดดันที่เกินขั้นตอนระหว่างการติดตั้งและการเตรียมส่วนตัดของ

ผิวเคลือบอ่อนหรือผิวเคลือบหลอมในอุณหภูมิต่ํา และด้วยการละลายของวัสดุที่เปราะบางมากในระหว่างการเตรียมส่วนข้าม

4 การกลมขอบของขอบของเคลือบ If the edge of the coating cross-section is rounded, i.e. ถ้าเส้นตัดของเคลือบไม่ได้เรียบไปหมดถึงขอบของมันความหนาที่แท้จริงไม่สามารถสังเกตได้ด้วยกล้องจุลินทรีย์การกลมขอบอาจเกิดจากการติดตั้ง, การบด, การเคลือบ, หรือการถักที่ไม่ถูกต้อง โดยปกติจะลดลงโดยการเคลือบตัวอย่างทดสอบก่อนการติดตั้ง

5 การเคลือบ ผืนของตัวอย่างทดสอบใช้เพื่อปกป้องขอบเคลือบระหว่างการเตรียมส่วนตัดและดังนั้นป้องกันการวัดที่ผิดพลาดการกําจัดวัสดุเคลือบระหว่างการเตรียมผิวสําหรับการเคลือบผิวอาจทําให้การวัดความหนาต่ํา.

6 การถัก ผักถักที่ดีที่สุดจะผลิตเส้นมืดแคบและจํากัดชัดเจนที่จุดผ่าตัดของสองโลหะการถักขีดเกินจะผลิตเส้นที่ไม่ชัดเจนหรือกว้าง ซึ่งอาจส่งผลให้มีการวัดที่ผิด.

7 การเคลือบ ผัดไม่ถูกต้อง อาจทําให้โลหะหนึ่งเคลือบกับโลหะอีกโลหะหนึ่ง เพื่อให้ความจํากัดระหว่างโลหะสองโลหะนั้นไม่ชัดเจนขอบเขตที่เห็นได้ชัดอาจถูกกําหนดไม่ดีหรือไม่เรียบร้อยมาก แทนที่จะเป็นเส้นตรงและถูกกําหนดดี.

เพื่อตรวจสอบว่าไม่มีการเคลือบผิว ควรวัดความหนาของเคลือบผิว และซ้ําการวัดการเคลือบ, การถักและความหนาการเปลี่ยนแปลงที่สําคัญในความหนาที่เห็นได้ชัดชี้ให้เห็นว่าการปะทะอาจมีอยู่ระหว่างการวัดหนึ่ง.

8 การปรับขนาด ณ ความหนาของผิวเคลือบใดๆ ความผิดพลาดในการวัดมักจะเพิ่มขึ้นเมื่อการปรับขนาดลดลง

หากเป็นไปได้ ควรเลือกการขยายขนาดให้เกณฑ์มองได้ระหว่าง 1.5 และ 3.3 ความหนาของผิวเคลือบ

9 การปรับขนาดของไมโครเมตรระยะ Any ความผิดพลาดในการปรับขนาดของไมโครเมตรระยะจะสะท้อนในการวัดของตัวอย่างความผิดพลาดหลายเปอร์เซ็นต์ ไม่เป็นไปไม่ได้ เว้นแต่เครื่องวัดได้ถูกปรับขนาด หรือได้รับการรับรองจากผู้จําหน่ายที่รับผิดชอบระยะห่างระหว่างเส้นสองเส้นของไมโครเมตรระยะที่ใช้สําหรับการปรับระดับจะต้องเป็นที่รู้จักภายใน 0.2 μm หรือ 0.1% ตามที่ใหญ่กว่า หากไมโครเมตรระยะไม่ได้รับการรับรองความแม่นยํา,มันควรมีการปรับขนาด วิธีการปรับขนาดที่พึงพอใจโดยทั่วไปคือการสมมุติว่าความยาวที่ระบุของขนาดเต็มที่ถูกต้อง เพื่อวัดแต่ละส่วนย่อยด้วยไมโครเมตรไฟลาร์และการคํานวณความยาวของแต่ละส่วนย่อยโดยสัดส่วนง่าย ๆ.

10 การปรับขนาดของเครื่องจับตาไมโครเมตร:

10.1 เครื่องวัดตาแบบไมโครเมตรแบบฟิลเลอร์ โดยทั่วไปเป็นวิธีที่พึงพอใจที่สุดในการวัดตัวอย่าง การวัดจะไม่แม่นยํากว่าการปรับขนาดของเครื่องวัดตาเนื่องจากการปรับระดับขึ้นอยู่กับผู้ใช้งาน, วงจรวงจรวงจรวงจรวงจรวงจรวงจรวงจรวงจร

10.2 การปรับขนาดซ้ําๆ ของเครื่องจับไมโครเมตร สามารถคาดหวังได้อย่างสมเหตุสมผลว่าจะมีการแพร่กระจายที่ต่ํากว่า 1%

10.3 เครื่องเล็งไมโครเมตรที่แยกภาพบางชิ้นมีความไม่เป็นเส้นตรงที่นํามาความผิดพลาดสูงถึง 1% สําหรับระยะทางการวัดที่สั้น

11 การสอดคล้อง ผิดพลาดสามารถนํามาโดยการปฏิกิริยาในการเคลื่อนไหวของ octave micrometer หากการเคลื่อนไหวสุดท้ายในระหว่างการสอดคล้องเส้นผมความผิดพลาดนี้จะถูกกําจัด.

12 ความเท่าเทียมกันของการขยาย เพราะการขยายอาจไม่เท่าเทียมกันทั่วสนามความผิดพลาดอาจเกิดขึ้นถ้าทั้งการปรับและการวัดไม่ได้ทําบนส่วนเดียวกันของสนามที่มีขอบเขตที่วัดมีศูนย์กลางเกี่ยวกับแกนแสง.

13 คุณภาพของเลนส์ ภาพที่ไม่ชัดเจนจะส่งผลให้การวัดไม่แน่นอน เลนส์ที่มีคุณภาพต่ํา อาจทําให้การวัดแม่นยําไม่เป็นไปได้บาง ครั้ง ความ ชัดเจน ของ ภาพ สามารถ ปรับปรุง ได้ โดย ใช้ แสง โมโน โครเมต.

14 การตั้งทิศทางของกระจกตา ภาพเคลื่อนไหวของเส้นเส้นขนของกระจกตาเพื่อการสอดคล้อง ต้องตั้งตรงกับขอบเขตของส่วนตัดตัด10 ° ความผิดพลาดจะส่งผลต่อ 1ความผิดพลาด 0.5%

15 ความยาวของท่อ การเปลี่ยนแปลงความยาวของท่อของกล้องจุลทรรศน์จะทําให้มีการเปลี่ยนแปลงการขยายและถ้าการเปลี่ยนแปลงนี้เกิดขึ้นระหว่างเวลาของการปรับขนาดและเวลาการวัดการวัดจะผิดพลาด.

การเปลี่ยนแปลงความยาวของท่ออาจเกิดขึ้นเมื่อเป้าหมายถูกวางใหม่ภายในท่อ, เมื่อเป้าหมายของท่อเป้าหมายถูกเปลี่ยน, และสําหรับบางไมโครสโกป

ระยะทางระหว่างลูกเรียนสําหรับกล้องจับตาถูกเปลี่ยน